薄膜材料的制备及应用

 

基本信息： 

【作　者】刘琳，刑锦娟，钱建华编著 

【形态项】 174 

【出版项】 沈阳：东北大学出版社 , 2011.12 

【ISBN号】978-7-5517-0091-7 

【中图法分类号】TB383 

【原书定价】26.00 

【主题词】薄膜-工程材料 

【参考文献格式】 刘琳，刑锦娟，钱建华编著. 薄膜材料的制备及应用. 沈阳：东北大学出版社, 2011.12. 

内容提要: 

本书包括以下主要内容：导论；薄膜制备的物理方法；第一章薄膜制备的化学方法；第二章薄膜技术应用；第三章薄膜的装置；第四章薄膜的形成、结构与缺陷；第五章特殊薄膜材料等。