薄膜技术与薄膜材料 材料科学与工程系列

 

基本信息： 

【作　者】田民波，李正操编著 

【丛书名】材料科学与工程系列 

【形态项】 532 

【出版项】 北京：清华大学出版社 , 2011.12 

【ISBN号】978-7-302-27483-4 

【中图法分类号】TB383;TB43 

【原书定价】49.00 

【主题词】薄膜-工程材料-薄膜技术 

【参考文献格式】 田民波，李正操编著. 薄膜技术与薄膜材料. 北京：清华大学出版社, 2011.12. 

内容提要: 

本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用等4大部分。